Dicing Chuck Repaired

Products name: DISCO Dicing Chuck
Panel material: Porous ceramic F2-000
Frame material: SUS420J
Panel size:6 Inch/8 Inch/9 Inch/12 Inch
Flatness: 0.005



Dicing Chuck Repaired

LONGYI started the develop of porous ceramic chuck, dicing chuck, wafer dicing chuck table, wafer dicing stage and floating stage in 2013.
Its main customers are semiconductors, solar energy and LCD.


Item No.                   Width                   Flatness      Thickness     Color

CPC-SS-06              170mm                   0.005            12mm          Khaki

CPC-SSB-06             170mm                   0.005           12mm        Black

CPC-ESD-06             170mm                   0.005           12mm       Dark Blue

CPC-SS-08               220.80mm             0.005            12mm        Khaki

CPC-SSB-08            220.80mm             0.005            12mm        Black

CPC-ESD-08            220.80mm              0.005          12mm         Dark Blue

CPC-SS-08-18          212mm                    0.005          18mm      Khaki

CPC-SSB-08-18       212mm                    0.005          18mm      Black

CPC-ESD-08-18       212mm                    0.005           18mm      Dark Blue

CPC-SS-09              237.10mm               0.005             12mm       Khaki

CPC-SSB-09            237.10mm               0.005            12mm      Black

CPC-ESD-09            237.10mm               0.005             12mm     Dark Blue

CPC-SS-12                  310mm                 0.005             12mm      Khaki

CPC-SSB-12               310mm                  0.005             12mm     Black

CPC-ESD-12              310mm                   0.005             12mm      Dark Blue


LONGYI porous ceramic vacuum chucks are available for a wild array of shapes and sizes for thin film substrates and other flat fragile materials, the chuck’s superb flat surface of porous ceramic distributes the vacuum force equally to mitigate any potential deflection.